ISSN: 2306-2819
Вестник Поволжского государственного технологического университета. Серия «Радиотехнические и инфокоммуникационные системы»
ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТОЛЩИНЫ ТОНКИХ ПЛЁНОК РАЗЛИЧНОГО СОСТАВА, ПОЛУЧАЕМЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ, НА ИХ ОПТИЧЕСКИЕ СПЕКТРЫ ПРОПУСКАНИЯ
PDF
Опубликована: 2025-04-28
Выпуск
№ 4(48) (2020): Вестник Поволжского Государственного Технологического Университета. Серия «Радиотехнические и инфокоммуникационные системы»
Раздел
ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
  • Антон Геннадьевич КОЗЫРЕВ Поволжский государственный технологический университет, Российская Федерация, 424000, Йошкар-Ола, пл. Ленина, 3
  • Андрей Викторович МОРОЗ Поволжский государственный технологический университет, Российская Федерация, 424000, Йошкар-Ола, пл. Ленина, 3
  • Виталий Евгеньевич ФИЛИМОНОВ Поволжский государственный технологический университет, Российская Федерация, 424000, Йошкар-Ола, пл. Ленина, 3

Аннотация

В работе представлены измеренные оптические спектры пропускания плёнок графита, нитрида алюминия и оксида меди различной толщины, полученных методом магнетронного распыления. Показана зависимость оптического спектра пропускания плёнок графита от их толщины. Также приведены спектры пропускания комбинаций плёнок нитрида алюминия и оксида меди.


Ключевые слова: спектр пропускания; тонкие плёнки; магнетронное распыление; графит; нитрид алюминия; оксид меди.

Биографии авторов

Антон Геннадьевич КОЗЫРЕВ, Поволжский государственный технологический университет, Российская Федерация, 424000, Йошкар-Ола, пл. Ленина, 3

Магистрант специальности «Электроника и наноэлектроника» кафедры конструирования и производства радиоаппаратуры, Поволжский государственный технологический университет. Область научных интересов – формирование тонких плёнок магнетронным распылением и исследование взаимосвязи их свойств с технологическим режимом. Автор трёх научных публикаций.

Андрей Викторович МОРОЗ, Поволжский государственный технологический университет, Российская Федерация, 424000, Йошкар-Ола, пл. Ленина, 3

Кандидат технических наук, доцент кафедры конструирования и производства радиоаппаратуры, Поволжский государственный технологический университет. Область научных интересов – формирование тонких плёнок магнетронным распылением и исследование взаимосвязи их свойств с технологическим режимом. Автор 30 научных публикаций.

Виталий Евгеньевич ФИЛИМОНОВ, Поволжский государственный технологический университет, Российская Федерация, 424000, Йошкар-Ола, пл. Ленина, 3

Кандидат технических наук, доцент кафедры конструирования и производства радиоаппаратуры, Поволжский государственный технологический университет. Область научных интересов – наноструктурированные тонкие плёнки, полученные методом магнетронного распыления; применение методов сканирующей зондовой микроскопии в исследовании тонкоплёночных структур. Автор 60 научных публикаций.

Литература

1. Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Л.: Машиностроение, 1973. 224 с.
2. Фурман Ш.А. Тонкослойные оптические покрытия. Л.: Машиностроение, 1977. 264 с.
3. Берлин Е.В., Сейдман Л.А. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением. М.: Техносфера, 2014. 255 с.
4. Кузьмичев А. И. Магнетронные распылительные системы. Кн. 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления. Киев: Аверс, 2008. 244 с.
5. Balamurugan B., Mehta B.R. Optical and structural properties of nanocrystalline copper oxide thin films prepared by activated reactive evaporation // Thin Solid Films. 2001. Vol. 396. № 1-2. P. 90-96.
6. Электрические, оптические и механические свойства аморфного гидрогенизированного углерода, полученного при различных условиях осаждения / А.А. Бабаев, С.Б. Султанов, М.Ш. Абдул¬вагабов и др. // Физика и техника полупроводников. 2011. Т. 45. Вып. 1. С. 120-122.
7. Свойства нитрида алюминия, полученного методом реактивного ионно-плазменного распыления/ Н.А. Берт, А.Д. Бондарев, В.В. Золотарев и др. // Физика и техника полупроводников. 2015. Т. 49. Вып. 10. С. 1429-1433.
8. Особенности роста и структурно-спектро¬скопические исследования нанопрофилированных пленок AlN, выращенных на разориентированных подложках GaAs / П.В. Середин, Д.А. Голощапов, А.С. Леньшин и др. // Физика и техника полупроводников. 2016. Т. 50. Вып. 9. С. 1283-1294.
9. Сушенцов Н. И. Установка магнетронного распыления [Электронный ресурс] // Институт физического материаловедения СО РАН. URL: http://ipms.bscnet.ru/conferenc/krnd_sem/pub_2009/Sushentsov.pdf. (Дата обращения: 12.07.2019).
10. Нанокристаллические и нанокомпозитные покрытия, структура, свойства / В.М. Береснев, А.Д. Погребняк, Н.А. Азаренков и др. // Физическая инженерия поверхности. 2007. Т. 5, № 1-2. С. 4–27.
11. Структура и свойства полученных
методом магнетронного распыления тонких
графитоподобных пленок / А.Я. Виноградов, С.А. Грудинкин, Н.А. Беседина и др. // Физика и техника полупроводников. 2018. Т. 52. Вып. 7. С. 775-781.
Читать полностью