Опубликована: 2025-04-27
Раздел
ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
Аннотация
Аннотация. Статья посвящена изучению технологических особенностей повышения фотокаталитической активности плёнок TiO2, сформированных методом реактивного магнетронного распыления. Описано технологическое оборудование для формирования фотокаталитических плёнок TiO2, а также сформирована серия плёнок при различных соотношениях аргона и кислорода в рабочей смеси газов. Приведены результаты исследования фотокаталитических свойств полученных плёнок. Разработаны технологические рекомендации по выбору оптимального соотношения рабочих газов в камере для повышения фотокаталитической активности плёнок TiO2 при их формировании методом магнетронного распыления.
Ключевые слова: оксид титана; тонкие плёнки; магнетронное распыление; фотокатализ
Литература
1. Vahl A., Veziroglu S. B. Pathways to Tailor Photocatalytic Performance of TiO2 Thin Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering // Materials. 2019. Vol.12. Pp. 2–18.
2. Masakazu A. Preparation, Characterization, and Reactivities of Highly Functional Titanium Oxide-Based Photocatalysts Able to Operate under UV–Visible Light Irradiation: Approaches in Realizing High Efficiency in the Use of Visible Light// Bull. Chem. Soc. Jpn. 2004. Vol.77. Pp. 1427–1442.
3. Wong M.S. Reactively sputtered N-doped titanium oxide films as visible-light photocatalystv // Thin Solid Films. 2006. Vol. 494. Pp. 244–249.
4. Shashin D.E., Sushentsov N.I. Mathematical model development for thin zinc oxide film formation with assigned dielectric constant values // IOP Conf. Series: Journal of Physics: Conf. Series. 2019. Pp. 1–4.
5. Shashin D.E., Sushentsov N.I. Obtaining thin metal films and their compounds using magnetron sputtering and arc evaporation in a single technological cycle// IOP Conf. Series: Journal of Physics: Conf. Series. 2021. Pp. 1–4.
6. Сушенцов Н.И., Шашин Д.Е. Разработка методики формирования функциональных покрытий на основе комплексного нитрида титана и алюминия и исследования их свойств // Упрочняющие технологии и покрытия. 2017. № 3.
С. 105–107.
7. Ye W., Fang K. Comparative study on structure and properties of ZnO thin films prepared by RF magnetron sputtering using pure metallic Zn target and ZnO ceramic target // Surface Engineering. 2020. Vol. 36. Pp. 49-54.
8. Zhang Ping, Wang Lijun. Enhancing Efficiency in Transparent Thin-Film ZnO/P3HT Solar Cells by the Improved Crystalline Quality of ZnO // Physica status solid applications and materials science. 2021. Vol. 218. Pp. 1–5.
9. Mingming Chen, Yuan Zhu, Anqi Chen.
Optical investigations of Be doped ZnO films grown by molecular beam epitaxy // Materials
Research Bulletin. 2016. Vol. 78.
P. 16–19.
10. Ben Jemaa I., Chaabouni F., A. Cr doping effect on the structural, optoelectrical and photocatalytic properties of RF sputtered TiO2 thin films from a powder target // Journal of Alloys and Compounds. 2020. Vol. 825. P. 2–9.
2. Masakazu A. Preparation, Characterization, and Reactivities of Highly Functional Titanium Oxide-Based Photocatalysts Able to Operate under UV–Visible Light Irradiation: Approaches in Realizing High Efficiency in the Use of Visible Light// Bull. Chem. Soc. Jpn. 2004. Vol.77. Pp. 1427–1442.
3. Wong M.S. Reactively sputtered N-doped titanium oxide films as visible-light photocatalystv // Thin Solid Films. 2006. Vol. 494. Pp. 244–249.
4. Shashin D.E., Sushentsov N.I. Mathematical model development for thin zinc oxide film formation with assigned dielectric constant values // IOP Conf. Series: Journal of Physics: Conf. Series. 2019. Pp. 1–4.
5. Shashin D.E., Sushentsov N.I. Obtaining thin metal films and their compounds using magnetron sputtering and arc evaporation in a single technological cycle// IOP Conf. Series: Journal of Physics: Conf. Series. 2021. Pp. 1–4.
6. Сушенцов Н.И., Шашин Д.Е. Разработка методики формирования функциональных покрытий на основе комплексного нитрида титана и алюминия и исследования их свойств // Упрочняющие технологии и покрытия. 2017. № 3.
С. 105–107.
7. Ye W., Fang K. Comparative study on structure and properties of ZnO thin films prepared by RF magnetron sputtering using pure metallic Zn target and ZnO ceramic target // Surface Engineering. 2020. Vol. 36. Pp. 49-54.
8. Zhang Ping, Wang Lijun. Enhancing Efficiency in Transparent Thin-Film ZnO/P3HT Solar Cells by the Improved Crystalline Quality of ZnO // Physica status solid applications and materials science. 2021. Vol. 218. Pp. 1–5.
9. Mingming Chen, Yuan Zhu, Anqi Chen.
Optical investigations of Be doped ZnO films grown by molecular beam epitaxy // Materials
Research Bulletin. 2016. Vol. 78.
P. 16–19.
10. Ben Jemaa I., Chaabouni F., A. Cr doping effect on the structural, optoelectrical and photocatalytic properties of RF sputtered TiO2 thin films from a powder target // Journal of Alloys and Compounds. 2020. Vol. 825. P. 2–9.
